IONPURE VNX55-E高流量CEDI模块18 MΩ-cm超纯水，用于微电子高纯水处理系统

IONPURE VNX55-E是一种高流量连续电去离子（CEDI）模块，为半导体和超纯水系统提供12.5 m³/h（55 gpm）的标称产品水流量。作为高纯水处理系统的无化学物质cedi模块，它保证了18MΩ·cm的电阻率，二氧化硅和硼的去除率≥95%。适用于微电子冲洗水、晶圆厂UPW回路和发电锅炉给水。

什么是高流量CEDI模块？

高流量CEDI模块是一种电化学水净化装置，可连续去除反渗透（RO）渗透物中的电离和可电离污染物，无需化学再生即可生产超纯水。与传统的混合床离子交换不同，CEDI模块使用离子交换膜、离子交换树脂和直流电势来驱动离子迁移，将水分解为H+和OH离子，用于原位树脂再生。这消除了酸/碱处理、中和罐和再生停机时间。

VNX55-E代表IONPURE VNX系列中的最高标称流量，每个模块的额定流量为12.5 m³/h。它专门针对微电子制造进行了优化，其中ppb级的二氧化硅、硼、钠和氯化物控制是晶圆产量保护的强制性要求。多个VNX55-E模块可以并行歧管，以构建超过228 m³/h（1000 gpm）的系统。

主要规格

标称产品流量：每个模块12.5 m³/h（55 gpm）

产品水电阻率：≥18 MΩ·cm（保证）

二氧化硅（SiO₂)去除率：≥95%

硼去除率：≥95%

钠（Na⁺)去除率：≥99.8%

氯化物（Cl⁻)去除率：≥99.8%

水回收率：98.5%至99%

工作直流电压范围：0至300V

工作直流电流范围：2.0至13.2 A

给水电导率：amp；lt；10µS/cm（需要二次反渗透或去离子水）

给水温度范围：20°C至45°C

给水压力范围：1.4至7巴（20至100磅/平方英寸）

给水余氯：amp；lt；0.02 ppm

给水总硬度：amp；lt；0.1 ppm（以CaCO计₃)

给水活性二氧化硅：amp；lt；0.2 ppm

最高环境温度：≤45°C

安装环境：室内，避免阳光直射

模块直径：44.45厘米

模块宽度：50.8厘米

模块高度：50.8厘米

模块长度：213.3厘米

连接：通过端口垫片设计，包括50mm对接焊接聚丙烯（PP）连接器

接线盒：包括预接线接线盒

认证：CE标志，根据ISO 9001和ISO 14001认证的质量管理体系制造

典型产品电阻率性能：17.5至18 MΩ·cm

技术亮点

薄电池浓缩室消除了盐水注入。专有的薄电池设计浓缩了被拒绝的离子，无需外部盐水进料或浓缩物再循环泵，简化了系统管道并减少了辅助设备数量。

通孔垫片密封可防止电路间泄漏。每个连接点都使用一个通孔压缩垫片，用于隔离产品、浓缩液和电极流。消除了传统板框设计中常见的O型环槽故障模式，降低了连续24/7晶圆厂运营中的计划外停机风险。

集成流量分配优化了电流效率。该模块的内部流动路径和树脂填充装置在整个膜活性区域保持均匀的电流密度。这可以防止局部热点降低膜寿命，并确保在98.5%至99%的水回收率范围内保证二氧化硅和硼的截留性能。

无化学物质操作降低了运营成本和EHS负担。电化学再生在模块内连续发生，不需要酸、碱或中和化学物质。一个常见的采购问题是CEDI模块是否需要定期更换树脂或进行化学清洗。IONPURE VNX55-E模块无需更换树脂即可运行多年；清洁频率完全取决于给水是否符合规定的最低入口质量。

应用程序

半导体晶圆厂超纯水抛光：接收二次反渗透渗透液，抛光至18 MΩ·cm，用于浸没光刻、湿法蚀刻和CMP后清洁。二氧化硅和硼去除率≥95%可防止在10 nm以下节点工艺中形成微电路缺陷。

平板显示器（FPD）制造冲洗水：为LCD和OLED基板清洁提供一致的高纯度冲洗水。每个模块12.5 m³/h的流速为8.5代和10.5代晶圆厂的UPW工厂提供了紧凑的系统占地面积。

发电高压锅炉给水：将反渗透渗透渗透物抛光至0.1µS/cm以下的电导率，用于联合循环燃气轮机和超临界燃煤电厂的高压锅炉补给。钠去除率≥99.8%可防止涡轮机叶片腐蚀和二氧化硅结垢。

制药纯化水（PW）和注射用水（WFI）预处理：作为蒸馏或最终超滤上游的预抛光阶段。消除了与场外再生服务DI交换相关的化学处理，简化了USP和EP合规性审核。

大规模UPW中央工厂扩建：多个并联的VNX55-E模块为校园内的配电回路生产超过228 m³/h的水。内置接线盒和50毫米PP对焊连接器减少了安装过程中的现场管道劳动力和电气端接时间。

选择指南

适用应用：

大型超纯水系统，要求每个抛光机组≥12.5 m³/h，进料电导率一致；距离反渗透上游lt；10µS/cm

硅、硼、钠和氯化物去除规范对晶圆加工至关重要的半导体和微电子厂

寻求消除危险化学品处理的设施——无散装酸或碱储存，无中和系统，无废盐水排放许可证负担

室内控制室或水处理建筑，环境温度保持在45°C或以下，模块上没有阳光直射

不建议用于：

给水电导率超过10µS/cm或硬度amp；＞0.1ppm，无需预处理升级。超过入口规格会降低产品电阻率，加速精矿室内的结垢，并可能永久损坏离子交换膜。

在满流条件下要求产品水电阻率低于10 MΩ·cm的应用。在这种情况下，IONPURE VNX-CDIT或IP-LXM系列的较小CEDI模块可以提供更相称的单位流量资本成本。

无防风雨外壳的室外安装。VNX55-E适用于室内使用；紫外线暴露和冰冻风险环境需要一个温度可控的庇护所。

常见问题

IONPURE VNX55-E的占地面积和安装尺寸是多少？

模块主体长213.3厘米，宽50.8厘米，高50.8厘米。直径44.45厘米。为50毫米的对接焊接PP连接配件和前侧接线盒通道留出额外的间隙。

2.VNX55-E的典型交付时间或交付周期是多久？

从工厂订单确认开始，标准交付周期为8至12周。对于紧急项目时间表，加快制造时间可以将交付时间缩短到6周。

3.可靠操作VNX55-E需要什么样的给水质量？

给水必须是二次反渗透渗透水或去离子水，具有导电性；lt；10µS/cm，温度20-45°C，压力1.4-7 bar，残留氯气；<；0.02 ppm，硬度amp；lt；0.1 ppm（以CaCO计）₃,以及反应性硅放大器；<；0.2 ppm。在这些限制之外操作会降低产品的耐水性，并可能使保修范围无效。

4.IONPURE VNX55-E CEDI模块的价格是多少？价格是多少？

VNX55-E每个模块的价格通常在65000至85000美元之间，具体取决于系统配置量和区域交付条款。价格因汇率、关税和工厂调整而波动。有关当前定价和运费的准确报价，请直接联系北京众平科技。

5.购买VNX55-E时有哪些付款条件？

我们接受电汇（T/T）和不可撤销信用证（L/C）即期付款。对于合格的工业客户，北京众平科技提供与工厂验收测试里程碑相关的分期付款。

6.VNX55-E是否可以在分流状态下运行，例如在调试或低需求期间？

是的，通过按比例调整直流电流，该模块可以在流量减少的情况下运行。将给水流量保持在标称额定值的60%至110%范围内，并调整电压以维持目标电流密度，从而实现最佳的离子去除。

7.VNX55-E的水回收率是多少，精矿是如何处理的？

该模块实现了98.5%至99%的回收率。剩余的1%至1.5%的浓缩液流可以返回反渗透进料罐或排放，因为它只含有浓缩的进料盐，没有添加化学物质。

8.VNX55-E是否与现有的基于PLC的监控和数据采集系统兼容？

是的，预接线盒提供直流电源输入端子。用户通过由工厂SCADA或PLC的4-20mA或0-10VDC模拟信号控制的整流器提供外部直流电源（额定为0-300VDC，2.0-13.2A）。

9.VNX55-E有什么保修条款，是否有延长服务协议？

我们提供自调试之日起12个月或自装运之日起18个月的标准保修期，以先到者为准。北京众平科技提供包括年度性能审计和膜完整性测试在内的延长保修计划。

10.更换或扩展VNX55-E模块如何与现有歧管进行液压匹配？

所有VNX55-E模块共享相同的液压阻力和端口几何形状。新模块可以添加到现有的并联歧管中，而无需重新平衡。订购时提供系统设计流程和每列车的电流负载，北京众平科技提供歧管连接图和电气负载表。