Ionpure VNX55-EX是一种用于超高纯水系统的高流量CEDI(连续电去离子)模块,专为微电子和半导体制造而设计。额定额定产品流量为12.5 m³/h(55 gpm),电阻率为18 mΩ·cm,安培;>;99%的二氧化硅和硼去除率,在没有酸/碱化学物质的情况下运行,实现95-97.5%的水回收率。
什么是用于水处理的EDI模块?
EDI模块是一种电化学水净化装置,使用离子交换膜、混合床树脂和直流电势从反渗透渗透物中去除可电离污染物。它取代了传统的混合床去离子,消除了化学再生的需要。

连续电去离子模块按流量分类:小型实验室单元(通常<;1 m³/h)、中型工业单元和用于中央工厂应用的高流量模块。VNX55-EX属于高流量类别,专为微电子工厂的大规模超纯水生产而设计,在这些工厂中,一致的18 MΩ·cm水质和二氧化硅/硼控制是不可谈判的。
主要规格
标称产品流量:12.5 m³/h(55 gpm)
产品水电阻率:18 MΩ·cm(保证)
二氧化硅(SiO₂)拆卸:amp;大于99%
硼去除:amp;大于99%
钠(Na⁺)拆卸:amp;>99.9%
氯化物(Cl⁻)拆卸:amp;>99.9%
水回收率:95-97.5%
工作电压范围:0-300VDC
工作电流范围:2.0–13.2 A
最大给水电导率:amp;lt;10µS/cm
给水压力范围:2.1–7巴(30–100磅/平方英寸)
给水温度范围:20–45°C(68–113°F)
最高环境温度:45°C(113°F)
残余游离氯耐受性:amp;lt;0.02 ppm(以Cl计₂)
给水硬度(以CaCO计)₃):amp;lt;0.1 ppm
给水二氧化硅(SiO₂):amp;lt;0.5 ppm
模块尺寸(直径×长度):44.45厘米×213.3厘米(17.5英寸×84英寸)
连接类型:50mm对接焊聚丙烯(PP)法兰连接
认证:CE标志、ISO 9001:2015和ISO 14001:2015(制造商设施证书)
浓缩液和电极室密封:通孔垫片设计
技术亮点
无化学物质操作消除了再生基础设施。VNX55-EX使用直流电源和膜驱动的离子迁移来连续再生其混合床树脂。一个常见的问题是,该模块是否需要酸或碱注入——它不需要。与传统的混合床抛光机相比,不需要中和罐、化学品储存或废物处理系统,从而减少了设施占地面积和操作复杂性。
95-97.5%的回收率最大限度地减少了废水排放。通过再循环浓缩液和电极流,只需将少量排放物排入下水道,即可实现高水回收率。在处理100 m³/h反渗透渗透物的超纯水厂中,这相当于2.5-5 m³/h的截留率,与需要定期全批再生的离子交换系统相比,大大降低了给水需求和处理成本。
通孔垫片密封可防止外部泄漏。每个浓缩通道上的双O型圈和通孔垫片技术消除了随着时间的推移会降低产品水质的隔室间泄漏。这种设计对于在微电子抛光回路中保持18 MΩ·cm的电阻率至关重要。
集成式电气接线盒简化了现场接线。每个模块都包括一个预端接的接线盒,带有工厂安装的电源线,减少了安装劳动力,防止了电极极性接线错误。
增强的二氧化硅和硼去除目标微电子规范。保证amp;硅和硼的去除率均超过99%,超过了典型的混合床性能,解决了半导体制造中导致晶片缺陷的两种最困难的弱电离物质。
应用程序
半导体晶圆制造最终抛光:生产18 MΩ·cm超纯水,用于晶圆清洗和浸没光刻。Theamp;>;99%的硼去除可防止p型掺杂污染,二氧化硅去除可保护光学元件免受硅质沉积物的影响。
微电子和平板显示器制造:为TFT-LCD、OLED和微型LED生产线提供高纯度工艺用水,这些生产线的离子残留物必须保持在万亿分之一以下。
发电和锅炉给水补给:消除了联合循环发电厂的混床离子交换,为高压锅炉提供电导率低于0.1µS/cm的给水,同时避免了危险化学品的处理。
制药纯化水和注射用水预处理:虽然最终的药典用水需要蒸馏或反渗透加抛光,但VNX55-EX作为一个连续的去离子阶段,可以保持水质;根据USPamp,电导率小于1.3µS/cm;lt;645amp;gt;WFI蒸馏器上游,减少蒸馏结垢和能耗。
高科技工业园区的中央超纯水厂:多个VNX55-EX模块的并行配置从单个抛光水系统输送超过228 m³/h(1000 gpm)18 mΩ·cm的水,与分布式使用点抛光机相比,降低了每立方米的水成本。
选择指南
适用应用:
高纯水需求从5 m³/h开始,在50 m³/h以上结垢,其中一个12.5 m³/h的模块或并联组取代了多个无化学物质操作的混合床容器
进水反渗透渗透质量始终≤10µS/cm,游离氯;lt;0.02 ppm,温度保持在20-45°C之间——典型的双道反渗透预处理
消除危险的酸性/碱性化学品、中和系统和树脂更换是安全或成本优先事项的项目
需要经过验证的硅放大器的微电子和半导体设施;lt;0.5 ppb和硼酰胺;产品水中lt;50 ppt
不建议用于:
给水电导率超过10µS/cm(例如,直接在高TDS微咸水上进行单程反渗透)。在上游安装二级反渗透或软化器/脱气器,或选择额定用于更高进料电导率的CEDI模块,如Ionpure VNX30-CDIT。
水温长时间低于15°C。低温会增加水的粘度并降低离子迁移率,导致产品电阻率降至保证的18 MΩ·cm以下。在冷进料情况下,使用设施加热水的板式换热器应将反渗透渗透物预热至安培;>;20°C。
非常小规模的抛光,其中单个模块超过了所需的流量。在低于20%的调节量下运行12.5 m³/h的模块可能会导致流量分布不均和局部树脂耗尽。对于2.5 m³/h以下的流量,考虑较小的Ionpure模块,如LX或IP-LXM系列。
常见问题
1.VNX55-EX保证什么电阻率或水质?
当给水满足所需的入口条件时,该模块保证18 MΩ·cm的产品水电阻率。额定流量下的典型测量性能为17.5–18.2 MΩ·cm,二氧化硅低于0.5 ppb,硼低于50 ppb。
2.VNX55-EX CEDI模块的预期使用寿命是多少?
该模块的设计在正常运行条件下,在给水质量一致的情况下,使用寿命至少为7年。许多装置在需要工厂翻新之前需要8到10年的时间。我们建议定期对电压和产品电阻率进行性能趋势分析,以预测寿命终止。
3.VNX55-EX的价格是多少,价格范围是多少?
VNX55-EX每个模块的价格通常在28000至45000美元之间,具体取决于项目规模、配置和区域分布。价格因汇率、关税和工厂调整而波动。如需准确的报价和交货条件,请直接联系北京众平科技。
4.在全额购买之前,您是否提供试用、租赁或试点测试安排?
我们在客户现场安排使用带有单个VNX55-EX模块的预配置橇进行试点测试。这证实了在资本承诺之前,在实际给水条件下的产品水质和回收率。联系北京众平科技安排中试。
5.VNX55-EX的交货时间和交付周期是多少?
标准出厂交付周期为8至10周。对于紧急的项目时间表,可以加快交付。拥有区域库存的授权分销商可以将交货时间缩短到4周。
6.有哪些付款方式和融资选择?
我们接受不可撤销信用证(即期信用证)、电汇(T/T),对于合格的买家,我们接受信用评估后的延期付款条件。对于多单位资本项目,北京众平科技可以构建基于里程碑的付款计划。
7.VNX55-EX之前需要什么样的预处理或给水质量?
给水必须为具有导电性的反渗透水;lt;10µS/cm,温度20–45°C,游离氯;<;0.02 ppm,硬度amp;lt;0.1ppm和silicaamp;小于0.5 ppm。带有紫外线脱氯和热交换的双通道反渗透是标准的预处理配置。
8.VNX55-EX可以间歇运行还是处于热待机模式?
只要保持低涓流电压(通常为0.5-1A)以防止生物污染和离子耗尽,该模块就可以在没有水流的情况下处于再循环待机状态长达72小时。从长时间停机启动需要消毒冲洗序列。
9.VNX55-EX的持续运营成本或耗材是多少?
没有酸、碱或树脂替代耗材。唯一的运营成本是直流电消耗——通常为每立方米产品水0.1-0.3千瓦时——加上少量废水流量。日常维护仅限于密封件和电气连接的年度检查。
10.是否提供安装和调试支持,包括哪些内容?
我们为每个现场的第一个模块安装提供工厂监督的调试和启动支持。这包括完整性测试、电源校准和操作员培训。北京众平科技提供涵盖年度健康检查和现场故障排除的扩展服务协议。